Defekterzeugung in kristallinem Silizium durch Kohlenstoffcluster im MeV-Energiebereich
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1993Type
- Doctoral Thesis
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https://doi.org/10.3929/ethz-a-000913699Publication status
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ETH ZürichSubject
SILICIUMKRISTALLE (ANORGANISCHE CHEMIE); IONENIMPLANTATION (ELEKTRODYNAMIK); PUNKTDEFEKTAGGLOMERATE (KRISTALLOGRAPHIE); CLUSTER (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN); KOHLENSTOFF (CHEMISCHE ELEMENTE); PUNKTDEFEKTE UND VERUNREINIGUNGEN (KRISTALLOGRAPHIE); SILICON CRYSTALS (INORGANIC CHEMISTRY); ION IMPLANTATION (ELECTRODYNAMICS); POINT DEFECT CLUSTERS (CRYSTALLOGRAPHY); CLUSTER (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS); CARBON (CHEMICAL ELEMENTS); POINT DEFECTS AND IMPURITIES (CRYSTALLOGRAPHY)Notes
Diss. Naturwiss. ETH Zürich, Nr. 10128, 1993. Ref.: H. R. Ott ; Korref.: V. Meyer ; Korref.: M. Suter.More
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